Aexponált lineáris skálanagy pontosságú mérést igénylő szerszámgépekhez és rendszerekhez tervezték, és kiküszöböli a golyósorsó hőmérsékleti és mozgási jellemzői által okozott hibát és fordított hibát.
Alkalmazható iparágak:
Mérő- és gyártóberendezések a félvezetőipar számára
Áramköri lap összeszerelő gép
Precíziós szerszámgép
Nagy pontosságú szerszámgép
Mérőgépek és komparátorok, mérőmikroszkópok és egyébprecíziós mérőberendezések
Sorozattermékek alkalmazása és bevezetése:
Az LS40 sorozatú lineáris rácsos leolvasófej az M4 sorozatú ultravékony, 40 μm rácsosztású rozsdamentes acél skálához van igazítva. Az egymezős szkennelés és az alacsony késleltetésű felosztási feldolgozás alkalmazása kiváló dinamikus teljesítményt biztosít.
Az RU sorozatú lineáris rácsos skála egy inkrementális, 20 μm-es rácsos skála, amelyet a nagy pontosságú lineáris méréshez szükséges visszajelzés biztosítására terveztek. Fejlett interferenciarácsos vonaljelölési technológiát alkalmaz, és a rácsvonal hibája 40 nm alatt van szabályozva. Nagy szilárdságú, korrózióálló speciális anyagokat használ. A rozsdamentes acél anyag hosszú távú és stabil használatot biztosít.
Az RX sorozatú inkrementális leolvasófejek az RH Optics fejlett optikai nullpont-érzékelőjével vannak felszerelve. A Handing Optical legfejlettebb nullpont-egymezős szkennelési technológiáját, fejlett automatikus erősítési és automatikus eltéréskorrekciós technológiáját alkalmazzák. Alacsony elektronikus felosztási hibával, erős szennyezésgátló teljesítménnyel rendelkeznek, és kompatibilisek a lineáris rácsskálákkal és a gyűrűs rácsokkal.
Mechanikai szerkezet:
A kitett lineáris skálaTartalmaz egy acélszalagos skálát és egy érintkezésmentes leolvasófejet. A nyitott lineáris rácsos skála acélszalagos rácsskálája közvetlenül a rögzítőfelületre van rögzítve, így a rögzítőfelület síksága befolyásolja a lineáris rácsos skála pontosságát.
Közzététel ideje: 2023. február 16.
